“李老师，您好！”郑诚连忙跟他握了握手。说白了，整个大楼都是这位在管，加上项目又极其重要，地位当然很高。

“那现在咱们就去看看？”李亦平抬了抬手，示意道。

“好。”

跟着李亦平，郑诚跟许连又过了几道门，终于到了实验室内部。第一个印象就是大！整个地方跟厂房车间似的，不是一个个房间，而是开放式的特别大的地方，与他想象中的竟然相当一致。

第二个印象则是干净，所有人都跟他们一个打扮，这里是恒温恒湿无尘环境。

大家都在忙碌着，郑诚也没去打扰他们，只是跟着陆亦平往前走。

“李老师，今天不是要做实验验证吗？结果怎么样了？”一边走着，郑诚说道。

李亦平向前指了指，说道：“测试已经结束了，现在正在做结果评估，机器就在前边。”

很快，他们就来到了一个单独划分出来的区域，一台……或者分成许多部分的机器摆放在那，太大了，没有外壳，各种线路跟内部结构都在那露着。

李亦平手指了指，说道：“这就是验证设备，当然，这并不是完整工作状态，省去了很多部分。整个实验目的有两个，一是看技术原理是不是能够实现，再有则是更直接的展现技术难点，方便明确接下来的技术研发重点。”

听着李亦平的话，又看着眼前这一大堆东西，郑诚也不由得感慨。这玩意就是光刻机啊！不，准确的说还只是有个大概模样，相当于盖房子刚打好地基架了梁。而就这些，他们已经忙了两年多，团队也从原本的几十人，扩大到了现在的两三百人。

“大规模集成电路制造的核心就在于光刻设备，为了摩尔定律继续发挥作用，必须想尽办法提高加工精度。当初选中了光刻方式，现在也同样。

根据瑞利公式：cd=k1(λna)，我们能选择的就是降低波长λ，提高镜头的数值孔径na，降低综合因素k1。不过，在零件加工精度逼近极限的情况下，摆在面前的其实只有一条路，选择波长更短的光源。”

绕着这台机器，李亦平看起来兴致不错，对着旁边的郑诚侃侃而谈。