士兵必须听命于将军——军令如山!
“由你牵头组建团队,对浸润式光刻机深度研发,开发深紫外光技术。”陈皓下达指令。
经过第一轮研发,浸润式技术已经成熟。
提高精度的核心是光源。
当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。
“是!”谢武激动坏了。
深紫外光?
他听过,却没有相关研究。
以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!
“陈总,这……”
杜杨和顾经纶傻眼了。
新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?
莫非……
谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。
任人唯亲?
“光刻机第二轮研发,包括两个方面。”
陈皓正色道:“一是以谢校长为首,对浸润式光刻机技术,进行深度研发、提升。”
短时间不可能达到极致的7纳米。
需要循序渐进。
70纳米提高到45纳米……
45纳米提高到32纳米……
如此缓步递进,可能只要两三个月,就能出一次新成果。
“二是杜总师、顾总师,组建一支新的研发团队,进行EUV光刻机研发!”陈皓沉声道。
两步走计划。
提升光源技术,对已有浸润式光刻机,进一步挖掘潜力。
难度小很多,短时间能出成果。
另一边。
进行全新的光刻机研发!
需时较长。