经过康研究员的一番介绍,两人大致的了解了一些这款光刻机。
结构方面,基本是复制了林晓捐给上面的那台光刻机,但也有部分地方进行了改进。
康研究员知道两人算是这方面的小白,所以,解释的比较通俗。
按照康研究员所说,这台光刻机,算是第四代光刻机,但是,整体方面,只能算是三代半,只是略优于第三代,但是,已经铺平了第四代光刻机的研发之路,研发出第四代光刻机,只是时间问题,因为已经没有太难的技术节点了。
最难的激光光源问题已经解决了,之前林晓通过富欧集团买回来的两台光刻机,使用的光源是KrF,氟化氪,而现在制造出来的这台,使用的光源是ArF,氟化氩。
之前的光刻机,能生产出300nm已经接近极限了,就算继续改进制程工艺,最多也就是能生产出180nm制程的芯片。
而新的光刻机,理论上,可以生产出28nm的芯片,当然,这只是理论上,实际上不可能实现。
但是,利用这一款光刻机,以及后续的改进型,配合更先进的芯片制程工艺,加工出70nm的芯片是没有什么问题的。
也就是说,未来的十年,不需要为了光刻机而犯愁了。