何景并没有惊讶,他这个师伯就是喜欢拉着他出来说话,便开口道:“大家都说得十分对,眼下想要突破的话的确是要研究极紫外光光源,所以极紫外光是必须要研究的。不过我们这边实力有限,所以最好还是寻求其他方面的帮助,Q大那边有个光学研究小组,听说他们在研究的就是各种光源,如果可以的话,我们能够寻求他们的帮助。”
何景记得在若干年之后,Q大光学研究所也研究出了极紫外光光源,这是很大的突破。
当然那个项目是在很久以后才开始的,所以一直到二十多年之后才成功,如果这一世能早一些开始的话,说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间,齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究,所以不能太着急。
齐老闻言思考了起来,“你说的那个小组能力怎么样?你觉得他们大概需要多久能有突破?”
何景笑了下,无奈摇头,“这我就不知道了,毕竟我和那边也没有多少了解,只是大概知道有这个研究小组,我们可以先接触接触,或者在全球范围内找一找,大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家,过来这边研究。”
两种方式各有优劣,弄到研究所这边来的话,他们就比较有主导权,也能更方便进行实验,但自己管理的话,需要操心的东西就会多不少,还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来,还需要研究那么长时间,也不一定那些人会愿意。
齐老点点头,并没有立马发表自己的看法,反而是看向了其他人。
“你们怎么看?”
“合作吧,专业的活还是要找专业的人干。”
“是啊,可以多放联系一下,如果有人正好在研究这个的话,那就好了。”
“嗯,还是要好好挑选下合作对象,毕竟实力还是十分重要的。”
“.....”
大部分人都倾向于合作,这样他们也能轻松不少。
齐老想了下,最终还是拍板合作这个方式了,“行,那就寻求外部合作吧,卢副,你尽快调查下合适的光学研究单位,看看那个单位对这个项目感兴趣。”
卢副所长立马点头答应,“好,我会尽快去办的。”
齐老满意点头,之后又看向其他人,“行吧,那我们继续说下面的问题。”
“何景,这次曝光的方式是怎么进行的?”
这个就是何景知道的了,赶忙道:“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式,掩模板对着晶元同步进行扫描。”
“投影倍镜的倍率最好蛇追在4:1......”
“掩模台需要保持高速、高精确地同步运动.....”
何景解说非常详细,这是他比较了解的部分,所有人都专心地听着。
齐老面上露出十分满意的笑容,等何景说完他立马带头鼓起了掌,“不错,你这些日子没有白忙啊,你们尽快将东西制作出现,之后进行具体实验。虽然光源是个问题,但我们也能用其他光源做实验不是,不能白耽误时间了。”
“明白。”众人纷纷点头答应。
齐老又看向其他人,开始问起其他的问题。
一场会议足足持续了一天,几乎到晚上九十年才结束,光刻机是个很大的项目,涉及到的问他十分多,所以花费的时间也多。没办法,这也是很正常的,毕竟一切才刚开始,所有人面临的问题都很多。
结束完会议,何景活动下筋骨,让身体放松下,跟在齐老后面往他后面走,不是何景还不想回去休息,只是齐老一结束会议就让何景去他办公室。
也挺累了,齐老也没有客气给何景倒水什么的,招呼人坐下之后便开始说起了话。
“齐老,怎么了?这么严肃?”看见他严肃的样子,何景有些好笑的问。
齐老面容严肃,“有件很重要的事情,M国有个十分大型的半导体研讨会,我们花国这边也收到了邀请,我便是受邀人员之一。”
“研讨会?谁组织的?”一听说有研讨会,何景就十分好奇了。
齐老叹了口气,“名义上是有什么半导体研究委员会组织的,但其实便是几个大集团公司组织的。”
何景有些奇怪,“他们这次怎么想着邀请我们花国的人了?之前不是很看不起我们吗?”