第66章 参观晶圆厂流水线(上)

回到1997造芯片 牧狼童 1207 字 2022-10-07

“这里就是我们晶华的净室了。”牛玉鹏指着不远处一栋约莫五六层高的建筑,笑着解释道:“这里也就是生产晶圆的核心区域。”

毕竟他们是来指导晶圆生产流水线的,昨天王向中和金圆圆逛的是硅片的生产线,自然不属于晶圆生产的范畴之内,因此也并没有从头开始参观。

“很奇怪啊,如果停工一段时间,晶圆的良品率就会有所上升,但是在工作一段时间后,晶圆良品率就不行了,经常出现大面积晶体管损毁的现象。昨天是开工的第一天,所以今天的良品率还算是可以。”

牛玉鹏也是叹了一口气,继续补充道:“我们怀疑可能是哪套环节出现了问题,所以还请各位专家多多看看,分析一下问题的原因。”

叶志华也是面色沉重地点了点头,他也知道,这次几人背负的任务还是挺重的,就连他也没有信心,一定能抓住问题本质核心所在。

王向中一听到这话便知道,这问题大概率就是出在硅片生产线上了。在这个年代,即使有废气过滤系统,对氯化氢分子进行中和处理,但依然还是会有不少氯化氢气体逃逸而出,接着通过通风系统进入净室之内。

虽然氯化氢在常温下不与硅直接反应,但是在n二极管上的硼,以及金属电路所使用的铝,则就没那么幸运了,它们会与氯化氢共同反应,直接破坏电路上的结构,从而导致废品率明显增多。

但除了金圆圆之外,所有人都不知道,其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了,其关键问题根本就没有出在内部生产线中,而是外部的硅片生产线上。

当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来,他还需要更多的细节来验证自己的猜想。

几人跟着牛玉鹏上了楼,便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。

“前面就是净室了,”被噪音影响,牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分,“一会咱们就要换衣服进入净室了,先声明一下,里面不能吃东西,不能脱口罩,不能咳嗽挠痒,以防止污染物流入生产线,听明白了没有?”

几人听到牛玉鹏的话,皆是点了点头。