因为在光刻过程中,当激光通过透镜组时,透镜本身还会吸收激光本身的部分能量,导致透镜受热膨胀,最终使其密度发生变化,折射率改变。
因此在这根透镜组管上,还有不少预留于通风的管道和加热装置,用于给镜片散热和加热,让焦深保持稳定状态。
正当王向中解释着镜头时,不少研究生已经开始用卷尺和游标卡尺测量记录参数、模拟画图了。
他给在坐的研究生们详细介绍了一番光刻机的内部结构和原理,几乎是如同信手拈来一般流畅,瞬间也是扳回了不少印象。
原本他们还以为王向中只是个凭借背景,不学无术的小屁孩,没想到在理论研究上造诣竟然如此之高,因此众人自然是会对他高看几分。
现在看来,把刘兵这种人物赶走显然也是有他自己的道理。
“说了这么多,但毕竟我不是光学和材料学的专业人员,有些事情还得靠你们。我们拿不到康尼公司给到的具体数据,因此只能是自己动手验证。”王向中叹了一口气道。
但是研究生们似乎压根不理会王向中的言论,只是近距离地观摩研究着这美轮美奂的精致设计,还不时发出赞叹之声。
“这些镜头的材料都是氟化物晶体,据我推测,康尼的物镜大概使用的是特殊合成石英,这种材料的透光率极高,国内暂时还搞不到。”
“目前来讲,有两种方案,第一种是加镜片,通过在狭小的空间内加入更多的镜片,从物理层面提升它的数值孔径;第二种是改装投影物镜镜头装置,通过技术层面来增加数值孔径。”
“受专业限制,我不知道哪种方法更现实,所以还要请各位师兄结合实际,验证一下这两项方案的可行性。”王向中补充道。