第115章 第二次流片

回到1997造芯片 牧狼童 1098 字 2022-10-07

他也不是非要自己做,如果能和姜民杀毒共同合作,那当然是再好不过了。

……

“这次实验数据怎么样?”王向中问道。

“从目前看来,这次我们装填了光栅之后,一切都很正常。”谭珊珊回答道。

净室中,不少研究生们都在紧张地看着光刻机上的荧屏,心中默默祈祷着这次一定要成功。

此时距离春节已经过去了一个月,现在正是光栅实验的关键时刻。

这已经是第二次流片实验了,第一次流片实验失败了,因为经验不足,导致做出来的掩膜出现了一些小小的瑕疵,最终导致整块晶圆报废。

大概的问题,就是光刻机的工作水平没有达到预期状况,利用了光的衍射,自然就要对掩膜有所改动,才能保证最终制作出来的芯片和设计图一致。

经过分析后,众人也是明白了过来,高压汞灯经过这次调整后,光强度明显出现了问题——因为光强度不够,直接导致光刻胶溶解不充分,在蚀刻这道工序上,直接变报废了大半块晶圆。

而少数幸运存活下来的芯片,其蚀刻质量也很有问题,即使是能通电正常运作,要么就是存储容量不达标,要么就是读写速度不达标,总而言之——问题很大。

“这还是闪存芯片,要是真的做处理器芯片,恐怕问题会很大。”江超郁闷地不行,明明模拟的各项指标数据都没什么问题,实际上在光源的模拟上,整个团队也是下了大功夫,当初在计算中时还特地拿出来讲过,不过在模拟上却没发现光强度存在什么问题。

究竟是因为什么,才导致最终的成品和预想的差距特别大呢?

总结了上次失败的原因后,这次调整了高压汞灯的电压,提高了大约20的阻尼和能量输出,再延长了数十秒的曝光时间,以力求一次性让改进后的光刻机通过验收。

“没关系的,失败也很正常。”王向中笑了笑,说道。