张熙教授没有再推辞，他很快列了一个名单，林强生又让他尽量的多列出一些东西，好一起采购回去，国外的学术书籍很贵，科研设备不但昂贵而且某些还需要定制，国内上点档次的研究所的高级实验设备，基本都来自国外。

之后，林强生来到了制程工艺实验室，这个研发部门又占据了另外一栋楼。

光刻机是芯片最重要的生产设备，集中了众多的高科技，这里比芯片实验室更先进，这里的所有实验室都是超洁净空间，耗资甚巨。

其实现在林强生也理解了王慧昌为什么要放弃晶圆代工这个产业了，因为芯片级晶圆厂家投资巨大，现在09微米级光刻机的价格每台就在千万美元以上，以王慧昌夫妇的积蓄也买不了几台，而制造内存颗粒的光刻机就要便宜多了。

来到了工艺实验室，换上了防尘服，林强生透过大玻璃看到林本坚正在进行实验，他正在试验纯水的折射率，这还是林强生直接告诉他的，纯水是最简单最容易上手的液体透镜。

当然，除了解决透镜材料问题之外，还有显影设备、光源系统、控制系统等一系列新技术的跟进开发，才能满足下一代芯片制程工艺的要求，东星想要做出侵润式光刻机怎么的也需要两到三年的时间！

第731章 向着世界光刻机产业前进

林本坚看到了林强生站在实验室外面，邀请他走进了实验室，高兴地说道：“林先生，你提出用纯水做透镜的想法非常棒，纯水的折射率为133，这样浸润式显影技术有望让我们在现有设备的基础上，可以达到05微米的制程工艺，完全不是问题！”

林强生看了看实验设备，一台经过改造了的光刻机，他对林本坚说道：“目前这个想法也只有少数人知道，属于公司的绝密技术，绝对不能透露出去！”

林本坚严肃地说道：“林先生你放心，我一定保守这个秘密，这是我现在最重要的工作！”

林强生点了点头，侵液式光刻机就是林本坚提出的想法，他当然知道这个设备重要性。在透镜和淹没版间加超纯水，利用水提高分辨率。短短一句话就能够给懂行的人无数启发，价值无限，所以这里的一切是连一个字也不能向外界透露的。

现在这个实验室也只有林本坚和国内来的几名研究人员能够进入，而且他们都签署了保密协议，这台设备的零配件都是分开制造的，最后由林本坚等人亲自组装，设备和这个实验室有着多重保护，现在它是东星半导体最重要的财产。

林强生看着光刻机，就像一个大柜子，这还只是个粗糙的试验型，离着成品还有好长的距离，他向林本坚问道：“你觉得我们多久能拿出成熟的浸液式光刻机？”

林本坚说道：“这需要改进光刻机的各个系统，软硬件还十分不成熟，而且在光刻机侵没液体控制系统上还需要尽快的开展研究，这涉及到自动控制领域。”

他向林强生说道：“而且，需要研究的领域太多了，不光是控制系统，还有精密制造、光学等等，肯定会有越来越多的配套研究项目，来配合我们的研究！如果一切顺利的话，最起码也要有个二三年的时间才能够完成这些领域的研发配套。而且我们没有光刻机制造的经验，磨合生产又需要1年的时间，拿出成品怎么也需要四年！”